低压气密封系统主要采用日本 SMC 无泄漏高性能气控阀，排除电控阀因为
温度和阀芯动作对密封性测试的影响；真空传感器和压力传感器采用美国进口高
性能和稳定性 GP50 传感器；低压气密封采用差压法检测密封性，差压传感器的
检测量程在±5kPa（精度为 0.50%），具有量程范围小，测量精度高，稳定性好
等特点。软件系统具有系统修正功能，可修正因气压不稳、温度、空间容积或系
统微漏等因素造成检测误差；并且提供标定样件，用于判定测漏装置是否工作正常。
5.3、液压系统
（低压气密封系统原理图）
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液压系统液压传感器采用美国 GP50 高精度传感器；控制阀采用自制无泄漏高
压气控阀可耐高压 25MPa 以上，性能稳定耐用；压力加载装置采用伺服加压装置
实现液压精确控制，同时也是所需液量试验成功的关键部件。液压系统具有自动
排气功能，接入产品打开放气螺钉和控制阀，就能实现高效率排气工作。